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与热扩散相比,离子注入有哪些优点?

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第1题
热扩散方法适合做深结,离子注入法适合做浅结。()
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第2题
早期,研究离子注入技术是用()来进行的。

A.重离子加速器

B.热扩散炉

C.质子分析仪

D.轻离子分析器

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第3题
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