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[多选题]
下述设备中,可直接加工12吋晶圆的设备有()。
A.Esec2008hs3
B.Esec2008hs
C.AD8312
D.Twin832
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A.Esec2008hs3
B.Esec2008hs
C.AD8312
D.Twin832
A.锻压机械的机架和突出部位不得有棱角
B.蓄力器应装有安全阀,且安全阀的重锤应位于明处
C.控制按钮有按钮盒,启动按钮为红色按钮,停车按钮为绿色按钮
D.启动装置的结构和安装应能防止锻造设备意外开启或自动开启
E.外露的齿轮传动、摩擦传动、曲柄传递、皮带传动机构有防护罩
A.36
B.12
C.24
D.10