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[多选题]
抑制通道效应的方法有()。
A.破坏表面硅原子的排列(预先浅注入)
B.将晶圆倾斜一定的角度
C.表面铺一层非结晶材质SiO2
D.进行快速热退火
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C.表面铺一层非结晶材质SiO2
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